-
- ATOS Q | 全新工业级量测技术
- GOM ScanCobot | 人机协作全自动量测系统
- ATOS 5 for Alrfoll | 专为航太量身打造的精密仪器
- ATOS5 | 工业级3D量测
- ATOS5X | 自动化全车检测
- ATOS Capsule | 高精度光学测量仪
- ATOS Core | 中小型工件3D量测
- ATOS Compact Scan | 高移动性3D量测
- ATOS ScanBox | 全自动3D量测
- GOM Scan1 | 小型三维扫描仪
- ATOS PLUS | 自动化全域定位
- TRITOP | 光学式三次元
- GOM Probe | 光學追蹤探針
- T-SCAN hawk 2 手持式三维扫描仪
蔡司中国区授权总代理商
「数控机床」超声高效加工解决方案赋能半导体高端制造发展

超声高效加工解决方案
马路科技汇专超声高效加工解决方案,由汇专自主研发的数控机床,搭载超声加工技术和高性能刀具组合而成,在硬脆材料、金属材料、工程塑料的超深微孔及高精度加工上取得了创新突破。
以超声绿色雕铣加工中心UEM-600 PLUS,搭配超声加工技术、超声振幅测量仪、整体PCD刀具的组合方案为例,加工CVD碳化硅喷淋盘、工程塑料探针卡等零件,可有效提升加工效率,改善工件表面质量,实现连续稳定加工。
解决方案:

定制化加工解决方案 构建多维度竞争优势
01 CVD碳化硅喷淋盘阶梯孔加工

材料:CVD碳化硅(HV3,150)
加工特征:D1.0*5.8mm / D0.5*5.4mm阶梯孔加工
加工优势
D1.0/D0.5mm阶梯孔单孔加工时间从11分25秒缩短至5分58秒,加工效率提升47.8%
刀具寿命提升160%,加工成本降低50%
显微镜放大至50倍检测,孔口崩边量≤0.02mm
02 工程塑料探针卡阶梯微孔加工

材料:杜邦工程塑料 VESPEL SCP5000
加工特征:D0.22mm/D0.31mm阶梯微孔加工
加工优势
可稳定加工D0.22mm/D0.31mm的阶梯微孔。
孔间距最小0.35mm,孔壁最薄为0.12mm,孔壁厚度一致性好,无破壁现象。
孔口毛刺从0.095mm缩短至0.027mm,缩短72%
传统方案毛刺覆盖率达5%,汇专方案毛刺覆盖率低至1%,减少后工序成本,提升后工序良率。
03 单晶硅曲面电极钻孔加工

材料:单晶硅
加工特征:D0.45x24.75mm超深微孔加工
单晶硅是典型的硬脆性材料,加工中容易产生崩缺问题,导致工件报废率高,而对于孔深径比高达55:1的单晶硅曲面电极,更是进一步增加了加工难度。
解决方案:

采用超声绿色雕铣加工中心 UEM-600+超声加工技术+整体PCD钻头的配套解决方案,对单晶硅曲面电极进行钻孔加工,可连续加工超过1,000个D0.45x24.75mm的超深微孔(深径比55:1),入口处目视无崩边,孔真圆度达0.003mm,孔壁粗糙度Sa从6.540μm降低至0.013μm,降低99.8%。
马路科技昆山公司展厅即将引进汇专超声绿色雕铣加工中心 UEM-600,帮助工厂解决实际生产中的加工难题,近距离感受这款设备带来的技术革新与高效加工体验。
资讯中心
NEWS
关注我们